在真空技術(shù)中，需要測量各種參數(shù)，其中zui重要的是真空度，而測量真空度的范圍很廣，這樣寬的壓強范圍不可能只用某一種通用的真空計來進行測量。目前，根據(jù)氣體壓強的各種物理現(xiàn)象研制了各式各樣的真空計，供真空測量所用。

　　現(xiàn)有U形真空計、壓縮真空計、熱偶真空計、電離真空計、放射性真空計和磁控放電真空計等.

　　zui常見的真空計是熱偶真空計。

　　在低真空下，氣體的導(dǎo)熱性和壓強有關(guān)，壓強愈高，則分子密度就愈大，氣體的導(dǎo)熱性就愈好;反之，當(dāng)壓強愈低(即真空度愈高)時，氣體的導(dǎo)熱就愈差.利用氣體導(dǎo)熱性與真空度之間的關(guān)系，制成各種類型的熱傳導(dǎo)真空計。

　　常用的熱偶式真空計(簡稱熱偶計)結(jié)構(gòu)比較簡單，真空計管(又稱規(guī)管)由玻璃制作，管內(nèi)兩根支架上焊一根熱絲(FTF)，另外兩根支架上焊接一對熱電偶(ET和NT),熱絲和熱偶在交叉點T焊接或連接。熱絲的加熱電源由穩(wěn)定電源供給，其大小由電位器W調(diào)節(jié)，用毫伏表G測量R上電壓降，便知加熱電流大小。當(dāng)接通熱絲電K時.熱偶兩端產(chǎn)生的熱電勢也可用毫伏表G測量.

　　在測量時應(yīng)保持熱絲的加熱電流不變.由于熱偶計規(guī)管制造時其特性有差異，每個規(guī)管的工作電流也不一樣，一般在100~120mA之間.在使用規(guī)管之前，首先要確定加熱電流的大小，一般規(guī)管在出廠之前都會進行封口.因此，規(guī)管在沒打開之前.先將它的工作電流測出。長期工作后，由于熱絲表面玷污污等原因，使規(guī)管特性有所變化，在清洗后要重新確定熱絲加熱電流.

　　熱偶計的優(yōu)點是可測蒸氣和氣體總壓強.能連續(xù)指示系統(tǒng)中壓強變化.結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，還可遠(yuǎn)距離測量。其缺點是讀數(shù)與氣體種類有關(guān)，有熱慣性，讀數(shù)滯后于壓強的變化，環(huán)發(fā)溫度變化對測量稍有影響。